[发明专利]MOM电容器及集成电路装置有效
| 申请号： | 202111118330.7 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113571637B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 熊谷裕弘 | 申请（专利权）人： | 晶芯成（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 田婷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MOM电容器及集成电路装置，通过在MOM电容器中堆叠的多层电容单元的整体上方和/或下方设置呈梳状结构的虚拟电极，以降低MOM电容器与其周围的信号线路之间的寄生电容，并抑制噪声，进而提高器件性能，同时还能避免铜制程等中的最低密度违规问题以及CMP制程中的碟陷等问题。 | ||
| 搜索关键词： | mom 电容器 集成电路 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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