[发明专利]干燥装置及干燥方法在审
| 申请号： | 202111093055.8 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN114251935A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 鲁承旭 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | F26B13/10 | 分类号： | F26B13/10;F26B23/06;F26B25/22;B41F23/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 崔今花;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干燥装置及干燥方法。干燥装置可包括：载物台，用于支撑基板，并且包括对所述基板进行加热的多个加热块；以及干燥上板，设置在所述载物台的上部，并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气(solvent vapor)的浓度的多个溶剂传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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