[发明专利]干燥装置及干燥方法

说明书

本发明提供一种干燥装置及干燥方法。干燥装置可包括：载物台，用于支撑基板，并且包括对所述基板进行加热的多个加热块；以及干燥上板，设置在所述载物台的上部，并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气(solvent vapor)的浓度的多个溶剂传感器。

技术领域

本发明涉及一种干燥装置及干燥方法。

背景技术

目前，作为显示装置使用多种方式的显示装置，代表性地可列举液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)及有机发光显示装置(Organic Light-Emitting Diode，OLED)。液晶显示装置是包括背光单元并通过将从背光单元发出的光阻断或透过来显示图像的方式的显示装置。另外，有机发光显示装置为最近备受瞩目的显示装置，其具有自发光特性，与液晶显示装置不同，不需要额外的光源。

在制造这种显示装置用基板时，可能会执行如在有机发光显示装置的基板上沉积多种材料的工艺和以干燥工艺及烘烤工艺为首的热处理工艺等的多种工艺。热处理工艺是为了形成具有所需特性的膜且为了诱导材料的物理变化或化学变化或者去除载体液体而执行的。

发明内容

本发明所要解决的技术课题是提供一种干燥装置及干燥方法，该干燥装置及干燥方法能够实时检测干燥腔室内部的溶剂蒸气浓度的分布。

本发明所要解决的另一技术课题是提供一种干燥装置及干燥方法，该干燥装置及干燥方法能够以检测到的干燥腔室内部的溶剂蒸气浓度的分布为基础局部控制基板的干燥速度。

本发明的技术课题不限于上面提到的技术课题，根据以下的记载，本领域技术人员应能清楚理解未提到的其他技术课题。

用于实现上述技术课题的本发明的一实施例的干燥装置可包括：载物台，用于支撑基板，并且包括对所述基板进行加热的多个加热块；以及干燥上板，设置在所述载物台的上部，并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气(solvent vapor)的浓度的多个溶剂传感器。

所述多个位置可包括第一位置及第二位置，所述多个溶剂传感器包括：第一溶剂传感器，用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度，所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块，在所述第一浓度高于所述第二浓度的情况下，所述第一加热块的加热温度被设定为高于所述第二加热块的加热温度。

在所述第一浓度低于所述第二浓度的情况下，所述第一加热块的加热温度可被设定为低于所述第二加热块的加热温度。

所述多个溶剂传感器可以在所述干燥上板上沿对角线设置。

所述多个溶剂传感器可以在所述干燥上板上以X字形设置。

所述多个溶剂传感器可以在所述干燥上板上以十字形设置。

所述多个加热块可以在所述载物台上以阵列形设置。

所述多个加热块可以在所述载物台上以同心四边形设置。

所述多个加热块可以在所述载物台上以同心圆形设置。

所述干燥装置可进一步包括与真空泵连接以排出所述溶剂蒸气的真空管路(vacuum line)。

用于实现上述技术课题的本发明的一实施例的干燥装置可包括：用于对基板进行加热的多个加热块；多个溶剂传感器，用于在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度；以及干燥速度控制装置，根据由所述多个溶剂传感器测量出的所述浓度来控制所述多个加热块的加热温度，从而调节所述基板的干燥速度。