[发明专利]干燥装置及干燥方法

权利要求书

1.一种干燥装置，包括：

载物台，用于支撑基板，并且包括对所述基板进行加热的多个加热块；以及

干燥上板，设置在所述载物台的上部，并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度的多个溶剂传感器。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

所述多个位置包括第一位置及第二位置，

所述多个溶剂传感器包括：第一溶剂传感器，用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度，

所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块，

在所述第一浓度高于所述第二浓度的情况下，所述第一加热块的加热温度被设定为高于所述第二加热块的加热温度。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其中，

在所述第一浓度低于所述第二浓度的情况下，所述第一加热块的加热温度被设定为低于所述第二加热块的加热温度。

4.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

所述多个溶剂传感器在所述干燥上板上沿对角线设置，或者在所述干燥上板上以X字形设置，或者在所述干燥上板上以十字形设置。

5.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

所述多个加热块在所述载物台上以阵列形设置，或者在所述载物台上以同心四边形设置，或者在所述载物台上以同心圆形设置。

6.根据权利要求1所述的干燥装置，

进一步包括与真空泵连接以排出所述溶剂蒸气的真空管路。

7.一种干燥装置，包括：

用于对基板进行加热的多个加热块；

多个溶剂传感器，用于在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度；以及

干燥速度控制装置，根据由所述多个溶剂传感器测量出的所述浓度来控制所述多个加热块的加热温度，从而调节所述基板的干燥速度。

8.根据权利要求7所述的干燥装置，其中，

所述多个位置包括第一位置及第二位置，

所述多个溶剂传感器包括：第一溶剂传感器，用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度，

所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块，

在所述第一浓度高于所述第二浓度的情况下，所述干燥速度控制装置以所述第一加热块的加热温度高于所述第二加热块的加热温度的方式进行设定，

在所述第一浓度低于所述第二浓度的情况下，所述干燥速度控制装置以所述第一加热块的加热温度低于所述第二加热块的加热温度的方式进行设定。

9.根据权利要求7所述的干燥装置，其中，

所述干燥速度控制装置包括第一接口及第二接口，所述第一接口用于接收由所述多个溶剂传感器检测的浓度数据，所述第二接口用于发送用于设定所述多个加热块的加热温度的指令，

所述干燥速度控制装置包括处理器，所述处理器接收由所述多个溶剂传感器检测的浓度数据的输入并计算所述多个加热块的加热温度。

10.根据权利要求7所述的干燥装置，

进一步包括与真空泵连接以排出所述溶剂蒸气的真空管路。

11.一种干燥方法，包括以下步骤：

向包括多个加热块的载物台提供基板；

向所述载物台的上部提供包括多个溶剂传感器的干燥上板；

利用所述多个溶剂传感器，在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度；以及

根据由所述多个溶剂传感器测量出的所述浓度来控制所述多个加热块的加热温度，从而调节所述基板的干燥速度。