[发明专利]一种高能粒子表面处理系统在审
| 申请号： | 202111087964.0 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113725056A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈晓东 | 申请（专利权）人： | 常州鑫立离子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/20;H01J37/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213114 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高能粒子表面处理系统，包括底座，所述底座的上端左部固定连接有电气控制箱，所述底座的上端右部固定连接有排气装置，所述排气装置的左端上部穿插固定连接有工作腔室，所述工作腔室的上端中部穿插固定连接有调节装置，所述调节装置的下端中部设置有产品台架，所述工作腔室的左端通过合页活动连接有密封门，所述工作腔室的下端中部固定连接有导入器，所述导入器的上端贯穿工作腔室的下腔壁并固定连接有离子赋能器。本发明的一种高能粒子表面处理系统，提供一种低应力、高精度的加工方式，通过高能离子对产品表面的轰击可以促使金属、非金属产品的表面的分子、原子的迁移，从而达到产品表面处理的目的，适合广泛运用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高能 粒子 表面 处理 系统 | ||
【主权项】：
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