[发明专利]用于COF载带截面检验的切片制作方法在审
| 申请号： | 202111083995.9 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113533003A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡水河;杨京三 | 申请（专利权）人： | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N1/36;G01N1/44 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 朱丽莎 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于COF载带截面检验的切片制作方法，包括以下步骤：S1：将一块玻璃纤维板放置在操作平台上，在玻璃纤维板的一端滴加粘结剂，并将粘结剂均匀地涂抹在玻璃纤维板的表面，形成第一粘结层。S2：取待检测的COF载带中的一个单元作为检测样品，将检测样品放置在第一粘结层上，在检测样品上再次滴加粘结剂将检测样品覆盖，并将粘结剂均匀地涂抹在检测样品表面，形成第二粘结层；此时，检测样品被包裹在第一粘结层和第二粘结层之间，得到切片样品。S3：将切片样品放入烤箱中进行烘烤固化，使得切片样品形成切片初胚，对切片初胚进行研磨处理，得到切片。本发明能够提高切片制作的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 cof 截面 检验 切片 制作方法 | ||
【主权项】：
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