[发明专利]用于COF载带截面检验的切片制作方法在审

专利信息
申请号: 202111083995.9 申请日: 2021-09-16
公开(公告)号: CN113533003A 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 蔡水河;杨京三 申请(专利权)人: 常州欣盛半导体技术股份有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N1/32;G01N1/36;G01N1/44
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 朱丽莎
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 cof 截面 检验 切片 制作方法
【权利要求书】:

1.一种用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1:将一块玻璃纤维板(1)放置在操作平台上,在所述玻璃纤维板(1)的一端滴加粘结剂,并将所述粘结剂均匀地涂抹在所述玻璃纤维板(1)的表面,形成第一粘结层(2);

S2:取待检测的COF载带中的一个单元作为检测样品(3),将检测样品(3)放置在第一粘结层(2)上,在检测样品(3)上再次滴加所述粘结剂将检测样品(3)覆盖,并将所述粘结剂均匀地涂抹在所述检测样品(3)表面,形成第二粘结层(4);此时,检测样品(3)被包裹在第一粘结层(2)和第二粘结层(4)之间,得到切片样品;

S3:将所述切片样品放入烤箱中进行烘烤固化,使得切片样品形成切片初胚,对切片初胚进行研磨处理,得到切片。

2.如权利要求1所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,所述粘结剂为AB胶。

3.如权利要求1所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,所述切片的厚度为2mm-3mm。

4.如权利要求1所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,所述烘烤的温度为100-120℃,烘烤时间为3-5分钟。

5.如权利要求1所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,对切片初胚进行研磨处理包括:采用研磨机对切片初胚指定位置进行研磨,使得切片初胚中的检测样品(3)的截面可以露出,然后利用不同规格的砂纸对检测样品(3)的截面进行抛光处理,使得检测样品(3)的截面变成光滑的面。

6.如权利要求5所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,所述检测样品(3)的截面包括横截面和竖截面。

7.如权利要求5所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,所述不同规格的砂纸至少包括第一规格砂纸、第二规格砂纸和第三规格砂纸,第一规格砂纸的目数为M1,第二规格砂纸的目数为M2,第三规格砂纸的目数为M3,M1M2M3。

8.如权利要求7所述的用于COF载带截面检验的切片制作方法,其特征在于,利用不同规格的砂纸对检测样品(3)的截面进行抛光处理具体包括:首先采用第一规格砂纸对检测样品(3)的截面进行抛光,再采用第二规格砂纸对检测样品(3)的截面进行抛光,然后在检测样品(3)的截面撒上抛光粉,最后采用第三规格砂纸对检测样品(3)的截面进行抛光,使得检测样品(3)的截面变成光滑的面。

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