[发明专利]体声波谐振结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202111082849.4 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113904650A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 高智伟;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区藏龙岛*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种体声波谐振结构及其制造方法，其中，所述体声波谐振结构包括：衬底；依次层叠于所述衬底上的反射结构、第一电极层、压电层、第二电极层；至少部分位于所述压电层之上的支撑层，所述支撑层的部分内侧壁处于有源区的边缘，且与所述第二电极层接触；位于所述支撑层上的保护层；所述保护层与所述第二电极层之间形成有第一空腔；所述反射结构、第一电极层、压电层、第二电极层沿所述衬底厚度方向投影重叠区域为有源区。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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