[发明专利]一种薄膜瑕疵检测装置及检测方法在审

专利信息
申请号: 202111075429.3 申请日: 2021-09-14
公开(公告)号: CN113777041A 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 刘勤学;王郑聊;周旭;李林 申请(专利权)人: 宁波勤邦新材料科技有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/892
代理公司: 宁波甬恒专利代理事务所(普通合伙) 33270 代理人: 郑哲
地址: 315700 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开了一种薄膜瑕疵检测装置及检测方法,包括机架、输送机构和检测机构;所述机架用于支撑固定所述输送机构和所述检测机构;所述输送机构用于输送薄膜使其通过所述检测机构;所述检测机构包括气流座和感应台,所述气流座和所述感应台分别设置于薄膜两侧,所述气流座适于向薄膜喷射气流,气流适于穿过薄膜的瑕疵部位,所述感应台上分布有多个感应区块,所述感应区块适于感应穿过薄膜的气流并获取气流出现处的位置信息,该检测装置能够在生产过程中快速检测、记录和标记太阳能背板薄膜的瑕疵部位,从而方便后续的分析,并对工艺进行改进。
搜索关键词: 一种 薄膜 瑕疵 检测 装置 方法
【主权项】:
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