[发明专利]气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法

摘要

本发明提供气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法。提供有利于以简易构成来降低空间的温度分布的技术。气体供给装置具备构成气体的吹出口的框体和在与框体之间设有间隙并覆盖框体的罩，罩具有使从吹出口吹出的气体经过的开口部，在从正面观看吹出口时的平面观看时，开口部比吹出口小且位于收敛在吹出口的区域内的位置，罩具有在平面观看时与吹出口的一部分以及框体的第1面相向并形成开口部的第1部分和从第1部分延伸并与框体的不同于第1面的第2面相向的第2部分，第1部分将从吹出口吹出的气体的一部分向间隙引导，间隙构成由第1部分引导的气体的流路。