[发明专利]防污膜及其用途在审
| 申请号： | 202111071251.5 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115807210A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 陈光禅;郭幸宜;廖晋毅 | 申请（专利权）人： | 德扬科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C25D7/06;C25D3/12;C25F3/02 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人： | 何尤玉;郭仁建 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种防污膜及其用途。所述防污膜，包含：一金属材料的软片材，其中，且所述软片材的中心线算术平均粗糙度Ra为0.1微米(μm)至6μm、面的算术平均高度Sa为0.1μm至6μm、界面展开面积比Sdr为0.1至6、相对于光滑面的比例Surf(％)为160％至700％。其具有强大抓附力。因此，本发明另外提供一种防污膜的用途，其用于增长一薄膜沉积设备进行一薄膜沉积制程的上机时间、提高上机使用效率，其中，所述防污膜是前述防污膜。本发明能使薄膜沉积的产品无污染、提高产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 防污 及其 用途 | ||
【主权项】：
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