[发明专利]一种铬靶材组件的焊接方法有效
申请号: | 202111031200.X | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN113695730B | 公开(公告)日: | 2023-01-13 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;俞佳烨 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/02 | 分类号: | B23K20/02;B23K20/26;B05D1/12 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种铬靶材组件的焊接方法,所述焊接方法包括:在背板的焊接面依次进行设置铝镍层和设置螺纹,之后将背板和铬靶材进行热等静压焊接;所述铝镍层中铝元素和镍元素的摩尔比为1:(0.3‑0.5);所述铝镍层的厚度为所述螺纹深度的15‑30%。本发明提供的技术方案,通过对现有技术中设置镀层的组成和厚度的特定设计同时与现有技术区别的采用先设置金属层后进行车削螺纹的方式,解决了焊接后铬靶材组件中背板变形的问题,焊接得到的铬靶材组件中背板形状良好,未出现任何变形,可以完全发挥铬靶材的使用性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 铬靶材 组件 焊接 方法 | ||
【主权项】:
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