[发明专利]一种铬靶材组件的焊接方法有效
| 申请号： | 202111031200.X | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113695730B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;俞佳烨 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/26;B05D1/12 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铬靶材 组件 焊接 方法 | ||
1.一种铬靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：
在背板的焊接面依次进行设置铝镍层和设置螺纹，之后将背板和铬靶材进行热等静压焊接；
所述铝镍层中铝元素和镍元素的摩尔比为1:(0.3-0.5)；所述铝镍层的厚度为所述螺纹深度的15-30％，所述铝镍层的设置方式包括喷涂，所述喷涂为按配方将铝粉和镍粉进行混合后采用喷涂的方式设置于所述背板的焊接面，所述铝粉的粒度为30-50μm，所述镍粉的粒度为100-300μm。
2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述喷涂的方式包括热喷涂或冷喷涂。
3.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述螺纹的间距为1-2cm。
4.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述螺纹的深度为8-15mm。
5.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述热等静压的温度为1000-1200℃。
6.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述热等静压的压强为120-150MPa。
7.如权利要求1-6任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：
在背板的焊接面依次进行设置铝镍层和设置螺纹，之后将背板和铬靶材进行热等静压焊接；
所述设置铝镍层中铝元素和镍元素的摩尔比为1:(0.3-0.5)；所述铝镍层的厚度为所述螺纹深度的15-30％；
所述铝镍层的设置方式包括喷涂；所述喷涂为按配方将铝粉和镍粉进行混合后采用喷涂的方式设置于所述背板的焊接面；所述铝粉的粒度为30-50μm；所述镍粉的粒度为100-300μm；所述喷涂的方式包括热喷涂或冷喷涂；所述螺纹的间距为1-2cm；所述螺纹的深度为8-15mm；所述热等静压的温度为1000-1200℃；所述热等静压的压强为120-150MPa。
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