[发明专利]一种金属蒸发源设备在审
| 申请号： | 202111011382.4 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113718204A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李端瑞;何然干;李元星;李远恒;周杰;党博谭;刘飞;王天昊;祁泽宙;刘文豪;姬磊;尹茂吉;兰代江;刘金彪;晋亚杰;罗楠;胡斌;刘雅楼;肖昂 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 崔家源;范继晨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
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