[发明专利]一种金属蒸发源设备

说明书

本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。

技术领域

本公开涉及加工制造领域，特别涉及一种金属蒸发源设备。

背景技术

当前OLED显示技术通常采用蒸镀工艺，其是指蒸发源在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

对于蒸镀金属材料而言，用于金属材料蒸发的金属蒸发源是其核心。现有金属蒸发源设备的金属蒸发源是采用加热丝(钽丝)加热坩埚(钽坩埚)，在工艺过程中，钽丝与钽坩埚加热均容易挥发出钽并附着于PBN(热解氮化硼)环上，当PBN环上附着大量的钽后，可导致加热丝与设备外壳导通短路，造成设备损坏，影响生产并造成大量的维修负担。

发明内容

有鉴于此，本公开实施例提出了一种金属蒸发源设备，用以解决现有技术的如下问题：现有金属蒸发源设备在使用过程中会在PBN环上附着大量的钽，可导致加热丝与设备外壳导通短路，造成设备损坏，影响生产并造成大量的维修负担。

一方面，本公开实施例提出了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，所述第一内胆层，贴附在所述外壳的内壁；所述第二内胆层，与所述第一内胆层连接或与所述第一内胆层共同作用，用于固定所述加热丝；所述第一内胆层与所述第二内胆层均采用绝缘材料，且所述绝缘材料的热稳定性在所述加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。

在一些实施例中，所述绝缘材料为陶瓷。

在一些实施例中，所述外壳的横截面为圆环。

在一些实施例中，所述外壳为非金属外壳。

在一些实施例中，所述第一内胆层的高度等于所述外壳的高度。

在一些实施例中，所述第二内胆层与所述第一内胆层连接，所述第二内胆层包括M个环形结构，N个环形结构对应一组加热丝，每一组加热丝嵌入在所述N个环形结构组成的结构本体上，其中，N小于或等于M，N为大于或等于1的整数。

在一些实施例中，所述第一内胆层的高度大于所述加热丝的高度。

在一些实施例中，所述第二内胆层与所述第一内胆层具有相同形状的结构本体，所述加热丝设置在所述第一内胆层和所述第二内胆层之间，与所述第一内胆层和所述第二内胆层均连接。

在一些实施例中，所述第二内胆层的高度大于所述加热丝的高度，所述第一内胆层的高度大于所述加热丝的高度。

在一些实施例中，所述第一内胆层的高度等于所述第二内胆层的高度。

本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的金属蒸发源设备的俯视剖视图；