[发明专利]一种金属蒸发源设备在审
| 申请号： | 202111011382.4 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113718204A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李端瑞;何然干;李元星;李远恒;周杰;党博谭;刘飞;王天昊;祁泽宙;刘文豪;姬磊;尹茂吉;兰代江;刘金彪;晋亚杰;罗楠;胡斌;刘雅楼;肖昂 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 崔家源;范继晨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 蒸发 设备 | ||
1.一种金属蒸发源设备，其特征在于，包括：
外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，
所述第一内胆层，贴附在所述外壳的内壁；
所述第二内胆层，与所述第一内胆层连接或与所述第一内胆层共同作用，用于固定所述加热丝；
所述第一内胆层与所述第二内胆层均采用绝缘材料，且所述绝缘材料的热稳定性在所述加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。
2.如权利要求1所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述绝缘材料为陶瓷。
3.如权利要求1所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述外壳的横截面为圆环。
4.如权利要求1所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述外壳为非金属外壳。
5.如权利要求1所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述第一内胆层的高度等于所述外壳的高度。
6.如权利要求1至5中任一项所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述第二内胆层与所述第一内胆层连接，所述第二内胆层包括M个环形结构，N个环形结构对应一组加热丝，每一组加热丝嵌入在所述N个环形结构组成的结构本体上，其中，N小于或等于M，N为大于或等于1的整数。
7.如权利要求6所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述第一内胆层的高度大于所述加热丝的高度。
8.如权利要求1至5中任一项所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述第二内胆层与所述第一内胆层具有相同形状的结构本体，所述加热丝设置在所述第一内胆层和所述第二内胆层之间，与所述第一内胆层和所述第二内胆层均连接。
9.如权利要求8所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述第二内胆层的高度大于所述加热丝的高度，所述第一内胆层的高度大于所述加热丝的高度。
10.如权利要求9所述的金属蒸发源设备，其特征在于，所述第一内胆层的高度等于所述第二内胆层的高度。
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