[发明专利]利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构在审
| 申请号： | 202111002041.0 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113977613A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 胡启凡;古市昌稔;武一鸣 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 马盼;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，包括形状相同且上下正对设置的第一带轮和第二带轮；第一带轮和第二带轮之一为主动轮；在每一条钢带左右侧均设2M个负载节点，每一个负载节点通过同步轮与负载连接部连接一个末端执行器；末端执行器共有2M+1个，平行设于所述第一带轮或第二带轮之间；第一带轮或第二带轮包括M层直径从大到小以相同间隔变化且平行层叠在一起的同步轮，第一和第二带轮中直径相同的同步轮相传动连接；从第一或第二带轮中心的第一个同步轮直径开始，从里到外按1N、2N…nN倍直径增加。当电机带动主从动轮右摇摆转动，使各末端执行器之间的等间距变大，反之变小。本发明可以应用于不同间距的晶圆存储装置之间的传片。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 传动 结构 实现 多层 间距 可变 晶圆搬送 机械手 | ||
【主权项】：
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