[发明专利]利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构

权利要求书

1.一种利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，包括：

形状相同且上下正对设置的第一带轮和第二带轮；所述第一带轮和第二带轮之一为主动轮，另一个为从动轮，所述主动轮与所述电机相连；

所述第一带轮或第二带轮包括M层直径从大到小以相同间隔变化且层叠在一起的同步轮，每一个所述第一带轮的同步轮通过钢带和所述第二带轮中直径相同的传动轮子相传动连接；从所述第一带轮或第二带轮中心的第一个同步轮直径开始，从里到外按1N、2N…nN倍直径增加；

在每一条所述钢带左右侧均固设有M个负载节点，所述负载节点为2M个，每一个负载节点通过同步轮与负载连接部连接一个末端执行器；其中，M的取值为正整数；

所述末端执行器共有2M+1个，平行设于所述第一带轮或第二带轮之间的2M+1个所述末端执行器成为三组，第一末端执行器组包括M个末端执行器，第二末端执行器组包括一个末端执行器，第三末端执行器组包括M个末端执行器，所述第二末端执行器组水平固设于所述第一带轮和第二带轮之间的中心位置并与所述负载连接部相垂直连接；第一末端执行器组和第三末端执行器组中末端执行器分别以所述第二末端执行器组为中心对称设置；所述第一末端执行器组和第三末端执行器组中靠近第二末端执行器组的两个相邻末端执行器相距为最小同步轮直径的值；

所述末端执行器包括具有晶圆搭载部和固定手部；所述固定手部使所述晶圆搭载部和同步轮与负载连接部相固接；当所述电机带动所述主动轮右摇摆转动，各所述末端执行器之间的等间距变大，反之当所述电机带动所述主动轮左摇摆转动，各所述末端执行器之间的等间距变小。

2.根据权利要求1所述的利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，还包括导向柱，所述导向柱垂直设置于所述底座上，在所述导向柱设置有2M个与相应的所述末端执行器的固定手部相接触连接的直线轴承，当所述末端执行器之间的间距变大或变小时，所述直线轴承沿所述导向柱上下滑动。

3.根据权利要求1所述的利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，还包括限位模块，用于限定所述电机带动所述主动轮左右摇摆转动的幅度。

4.根据权利要求3所述的利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述限位模块为两个平行的滑槽，用于分别为容置左右两侧M个所述同步轮与负载连接部。

5.根据权利要求3所述的利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述主动轮或从动轮的左右摇摆转动的幅度为±34.38度。

6.根据权利要求1所述的利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，M为4。

7.根据权利要求6所述的利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述第一带轮或第二带轮包括2层直径从大到小以相同间隔变化且层叠在一起的同步轮，每一个所述第一带轮的同步轮通过钢带和所述第二带轮中直径相同的传动轮子相传动连接；从所述第一带轮或第二带轮中心的第一个同步轮直径开始，从里到外按1：2倍直径增加。