[发明专利]半导体存储装置

摘要

一种能够提高可靠性的半导体存储装置，包括：第1半导体(32)，在与基板(30)平行的第1方向(X方向)上延伸；第1导电体(41)，在与基板垂直的第2方向(Z方向)上延伸；第1电荷积蓄层(44)，以将第1导电体的外周包围的方式设置；第1绝缘体(42)，在第1导电体与第1电荷积蓄层之间以将第1导电体包围的方式设置；第2绝缘体(45)，在第1电荷积蓄层与第1半导体之间以将第1电荷积蓄层包围的方式设置；以及第1存储单元(MC)。第2绝缘体的外周的一部分与第1半导体相接。第1存储单元包括第1导电体、第1半导体、设在第1导电体与第1半导体之间的第1电荷积蓄层的一部分、第1绝缘体的一部分及第2绝缘体的一部分。