[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202111001643.4 | 申请日: | 2021-08-30 |
公开(公告)号: | CN115117084A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 松尾浩司 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/1157 | 分类号: | H01L27/1157;H01L27/11575;H01L27/11582 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 牛玉婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
1.一种半导体存储装置,其中,具备:
第1半导体,在与基板平行的第1方向上延伸;
第1导电体,在与上述基板垂直的第2方向上延伸;
第1电荷积蓄层,以包围上述第1导电体的外周的方式设置;
第1绝缘体,在上述第1导电体与上述第1电荷积蓄层之间以包围上述第1导电体的方式设置;
第2绝缘体,在上述第1电荷积蓄层与上述第1半导体之间以包围上述第1电荷积蓄层的方式设置;以及
第1存储单元,
上述第2绝缘体的外周的一部分与上述第1半导体相接,
上述第1存储单元包括上述第1导电体、上述第1半导体、设在上述第1导电体与上述第1半导体之间的上述第1电荷积蓄层的一部分、上述第1绝缘体的一部分及上述第2绝缘体的上述一部分。
2.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,
上述第2绝缘体的外周的其他部分与第3绝缘体相接。
3.如权利要求2所述的半导体存储装置,其中,
上述第1半导体与上述第3绝缘体相接的面弯曲。
4.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,还具备:
第2半导体,设在上述第1半导体的上方;
第2电荷积蓄层,以包围上述第1导电体的外周的方式设置;
第4绝缘体,在上述第1导电体与上述第2电荷积蓄层之间以包围上述第1导电体的方式设置;
第5绝缘体,在上述第2电荷积蓄层与上述第2半导体之间以包围上述第2电荷积蓄层的方式设置;以及
第2存储单元,
上述第5绝缘体的外周的一部分与上述第2半导体相接,
上述第2存储单元包括上述第1导电体、上述第2半导体、设在上述第1导电体与上述第2半导体之间的上述第2电荷积蓄层的一部分、上述第4绝缘体的一部分及上述第5绝缘体的上述一部分。
5.如权利要求4所述的半导体存储装置,其中,
上述第1电荷积蓄层的直径与上述第2电荷积蓄层的直径不同。
6.如权利要求4所述的半导体存储装置,其中,
上述第1半导体的与上述第1方向及上述第2方向交叉的第3方向上的宽度,与上述第2半导体的上述第3方向上的宽度不同。
7.如权利要求1~6中任一项所述的半导体存储装置,其中,还具备:
第2半导体,在上述第2方向上延伸;
第3电荷积蓄层,以包围上述第1导电体的外周的方式设置;
第6绝缘体,在上述第1导电体与上述第1电荷积蓄层之间以包围上述第1导电体的方式设置;
第7绝缘体,在上述第3电荷积蓄层与上述第1半导体之间以包围上述第3电荷积蓄层的方式设置;以及
第3存储单元,
上述第7绝缘体的外周的一部分与上述第1半导体相接;
上述第3存储单元包括上述第2导电体、上述第1半导体、设在上述第2导电体与上述第1半导体之间的上述第3电荷积蓄层的一部分、上述第6绝缘体的一部分及上述第7绝缘体的上述一部分。
8.如权利要求7所述的半导体存储装置,其中,
在上述第1电荷积蓄层与上述第3电荷积蓄层之间,存在设有由上述第2绝缘体、上述第1半导体和上述第7绝缘体构成的3层构造的区域。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的