[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202111001643.4 申请日: 2021-08-30
公开(公告)号: CN115117084A 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 松尾浩司 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L27/11575;H01L27/11582
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 牛玉婷
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,其中,具备:

第1半导体,在与基板平行的第1方向上延伸;

第1导电体,在与上述基板垂直的第2方向上延伸;

第1电荷积蓄层,以包围上述第1导电体的外周的方式设置;

第1绝缘体,在上述第1导电体与上述第1电荷积蓄层之间以包围上述第1导电体的方式设置;

第2绝缘体,在上述第1电荷积蓄层与上述第1半导体之间以包围上述第1电荷积蓄层的方式设置;以及

第1存储单元,

上述第2绝缘体的外周的一部分与上述第1半导体相接,

上述第1存储单元包括上述第1导电体、上述第1半导体、设在上述第1导电体与上述第1半导体之间的上述第1电荷积蓄层的一部分、上述第1绝缘体的一部分及上述第2绝缘体的上述一部分。

2.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,

上述第2绝缘体的外周的其他部分与第3绝缘体相接。

3.如权利要求2所述的半导体存储装置,其中,

上述第1半导体与上述第3绝缘体相接的面弯曲。

4.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,还具备:

第2半导体,设在上述第1半导体的上方;

第2电荷积蓄层,以包围上述第1导电体的外周的方式设置;

第4绝缘体,在上述第1导电体与上述第2电荷积蓄层之间以包围上述第1导电体的方式设置;

第5绝缘体,在上述第2电荷积蓄层与上述第2半导体之间以包围上述第2电荷积蓄层的方式设置;以及

第2存储单元,

上述第5绝缘体的外周的一部分与上述第2半导体相接,

上述第2存储单元包括上述第1导电体、上述第2半导体、设在上述第1导电体与上述第2半导体之间的上述第2电荷积蓄层的一部分、上述第4绝缘体的一部分及上述第5绝缘体的上述一部分。

5.如权利要求4所述的半导体存储装置,其中,

上述第1电荷积蓄层的直径与上述第2电荷积蓄层的直径不同。

6.如权利要求4所述的半导体存储装置,其中,

上述第1半导体的与上述第1方向及上述第2方向交叉的第3方向上的宽度,与上述第2半导体的上述第3方向上的宽度不同。

7.如权利要求1~6中任一项所述的半导体存储装置,其中,还具备:

第2半导体,在上述第2方向上延伸;

第3电荷积蓄层,以包围上述第1导电体的外周的方式设置;

第6绝缘体,在上述第1导电体与上述第1电荷积蓄层之间以包围上述第1导电体的方式设置;

第7绝缘体,在上述第3电荷积蓄层与上述第1半导体之间以包围上述第3电荷积蓄层的方式设置;以及

第3存储单元,

上述第7绝缘体的外周的一部分与上述第1半导体相接;

上述第3存储单元包括上述第2导电体、上述第1半导体、设在上述第2导电体与上述第1半导体之间的上述第3电荷积蓄层的一部分、上述第6绝缘体的一部分及上述第7绝缘体的上述一部分。

8.如权利要求7所述的半导体存储装置,其中,

在上述第1电荷积蓄层与上述第3电荷积蓄层之间,存在设有由上述第2绝缘体、上述第1半导体和上述第7绝缘体构成的3层构造的区域。

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