[发明专利]一种精密芯片检测设备

摘要

本发明涉及一种精密芯片检测设备，其包括基座、校正装置、顶升装置和检测系统。校正装置包括校正安装机构、转盘机构和定位相机。顶升装置包括顶升安装机构、顶针和伸缩机构。检测系统包括顶面检测相机和相对设置的第一检测装置和第二检测装置，第一检测装置和第二检测装就用于芯片的检测。校正装置对芯片的位置进行校正，并通过定位相机对芯片的位置进行确认和记录，便于后续进行顶面检测和运送机构定位吸附。顶升装置利用顶针的向上顶升力使芯片脱离薄膜，以便于运送机构吸附并输送至检测系统中。第一检测装置和第二检测装置共用转盘机构作为料仓，两者之间相互独立运行，分别对顶面检测完成的芯片进行端面和底面检测，有效地提高了检测效率。