[发明专利]一种精密芯片检测设备

权利要求书

1.一种精密芯片检测设备，其特征在于，所述精密芯片检测设备包括：

基座；

校正装置，所述校正装置包括校正安装机构、转盘机构以及定位相机；所述校正安装机构设置于所述基座上，所述校正安装机构能够在x轴和y轴方向上运动；所述转盘机构设置于所述校正安装机构上，所述转盘机构能够以竖直线为旋转轴旋转；所述定位相机设置于所述转盘机构的上方；

顶升装置，所述顶升装置包括顶升安装机构、顶针以及伸缩机构；所述顶升安装机构设置于所述基座上，所述顶升安装机构能够在z轴方向上运动；所述伸缩机构设置于所述顶升安装机构上，所述顶针竖直设置于所述伸缩机构上，所述顶针位于所述转盘机构的下方；

检测系统，所述检测系统包括顶面检测相机以及相对设置的第一检测装置和第二检测装置；所述第一检测装置和第二检测装置均包括底面检测相机、端面检测相机以及运送机构；所述顶面检测相机设置于所述转盘机构的上方；所述底面检测相机与所述端面检测相机的光轴线正交，且均设置于所述基座上；所述运送机构包括旋转组件以及吸嘴，所述旋转组件设置于所述基座上，所述旋转组件能够在x轴、y轴、z轴方向运动，x轴方向、y轴方向、z轴方向相互垂直；所述吸嘴设置于所述旋转组件上，所述吸嘴能够以竖直线为旋转轴旋转，所述旋转组件能够通过所述吸嘴将所述转盘机构上的芯片运送至所述底面检测相机与所述端面检测相机的光轴线的正交区域。

2.如权利要求1所述的精密芯片检测设备，其特征在于，所述校正安装机构包括第一校正安装板、第二校正安装板、第一校正驱动组件以及第二校正驱动组件；

所述第一校正安装板通过第一校正滑轨滑动设置于所述基座上，所述第二校正安装板通过第二校正滑轨滑动设置于所述第一校正安装板上，所述第一校正滑轨与x轴方向平行，所述第二校正滑轨与y轴方向平行；

所述第一校正驱动组件设置于所述基座上，用以驱动所述第一校正安装板沿所述第一校正滑轨运动；

所述第二校正驱动组件设置于所述第一校正安装板上，用以驱动所述第二校正安装板沿所述第二校正滑轨运动；

所述转盘机构设置于所述第二校正安装板上。

3.如权利要求2所述的精密芯片检测设备，其特征在于，所述转盘机构包括转盘驱动组件和转动盘；

所述转动盘转动设置于所述第二校正安装板上，所述转盘驱动组件设置于所述第二校正安装板上，所述转盘驱动组件用于驱动所述转动盘旋转；

所述转动盘上开设有第一圆形通孔，所述第二校正安装板上开设有第二圆形通孔，所述第一圆形通孔和所述第二圆形通孔的中轴线均与所述转动盘的旋转轴线共线；

所述定位相机位于所述转动盘的上方，所述定位相机的镜头朝下；

所述顶针位于所述第二通孔的下方，所述顶针的顶端朝上。

4.如权利要求3所述的精密芯片检测设备，其特征在于，所述校正装置还包括相对设置的第一压紧机构和第二压紧机构；

所述第一压紧机构和所述第二压紧机构均包括压紧气缸、压紧板以及抬料块；

所述压紧气缸设置于所述第二校正安装板上，所述第一压紧气缸的活塞杆竖直朝上设置；

所述压紧板水平设置于所述压紧气缸的活塞杆上，所述压紧板的下表面能够抵接于所述转动盘的上表面，所述第一压紧机构的所述压紧板与所述第二压紧机构的所述压紧板以所述转动盘的对称中心点对称；

所述抬料块设置于所述压紧板的下表面。

5.如权利要求4所述的精密芯片检测设备，其特征在于，所述第一压紧机构和所述第二压紧机构均还包括拉杆组件以及多个导向组件；

所述拉杆组件包括第一导向轴和弹簧，第一导向轴竖直设置于所述压紧板的下表面，所述弹簧套设在所述第一导向轴上，所述弹簧的下端与所述第二校正安装板连接，所述弹簧的第二端与所述压紧板连接；

所述导向组件包括第二导向轴和导向套，所述第二导向轴竖直设置于所述压紧板的下表面，所述导向套竖直设置于所述第二校正安装板上，所述第二导向轴滑动套设于所述导向套内。