[发明专利]镀覆方法在审
| 申请号： | 202110987141.7 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN114318440A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 辻一仁 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02;C25D5/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张青;闫月 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀覆方法。本发明的课题在于防止预湿液残留在基板的边缘部。提出了一种用于对具有暴露于镀覆液的被镀覆部和作为上述被镀覆部的外侧区域的边缘部的基板实施镀覆处理的镀覆方法。上述镀覆方法包括：第一密封工序，使第一密封体与基板接触而对上述基板的上述边缘部进行密封；预湿工序，对密封后的上述基板实施预湿处理；第一密封取下工序，从预湿后的上述基板取下上述第一密封体；基板保持工序，利用具有第二密封体的基板保持件来保持上述基板；以及镀覆工序，使镀覆液作用于由上述基板保持件保持的上述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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