[发明专利]一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置有效
| 申请号： | 202110956053.0 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113684463B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 刘旭 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 赵保迪 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及PVD镀膜设备的领域，尤其是涉及一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置。载板偏压导入装置包括电源、连接机构以及引电机构，引电机构包括导线和装载开关、卸载开关，连接机构的数量设置为至少三个且依次排布，将连接机构按顺序依次编号，奇数序号的连接机构与电源正负极的其中一极导通，偶数序号的连接机构与电源的另一极导通，序号排前两位的连接机构中的至少一个连接的导线上设置有装载开关，序号排后两位的连接机构中的至少一个连接的导线上设置有卸载开关。在整个过程中电流的通断都是通过装载开关和卸载开关来进行的，而不是载板和连接机构接触、分离导致的通断电，可以避免瞬间电流过大导致载板和连接机构连接处损毁的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 连续 pvd 设备 及其 偏压 导入 装置 | ||
【主权项】：
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