[发明专利]一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置

权利要求书

1.一种载板偏压导入装置，包括电源(10)、用于连接载板的连接机构(11)，以及导通连接机构(11)和电源(10)的引电机构(12)，引电机构(12)包括导线(15)和装载开关(16)、卸载开关(17)，其特征是：所述连接机构(11)的数量设置为至少三个且依次排布，将连接机构(11)按顺序依次编号，奇数序号的连接机构(11)通过导线(15)与电源(10)正负极的其中一极导通，偶数序号的连接机构(11)通过导线(15)与电源(10)的另一极导通，序号排前两位的连接机构(11)中的至少一个连接的导线(15)上设置有装载开关(16)，序号排后两位的连接机构(11)中的至少一个连接的导线(15)上设置有卸载开关(17)，且装载开关(16)和卸载开关(17)不位于同一条导线(15)上；还包括用于检测载板位置的装载传感器(18)和卸载传感器(19)，装载传感器(18)检测载板达到序号第二、第三的连接机构(11)之间的位置时响应，装载传感器(18)响应时装载开关(16)闭合，装载传感器(18)不响应时装载开关(16)断开；卸载传感器(19)检测载板到达序号倒数第二、第三的连接机构(11)之间的位置时响应，卸载传感器(19)响应时卸载开关(17)闭合，卸载传感器(19)不响应时，卸载开关(17)断开。

2.根据权利要求1所述的载板偏压导入装置，其特征是：所述连接机构(11)包括用于连接组合腔室(1)的安装座(13)和不与组合腔室(1)导通的柔性电刷(14)，柔性电刷(14)与导线(15)导通。

3.根据权利要求1所述的载板偏压导入装置，其特征是：所述连接机构(11)包括用于连接组合腔室(1)的安装座(13)以及不与组合腔室(1)导通的导电柱(20)，所述导电柱(20)与安装座(13)滑动连接，且导电柱(20)穿出安装座(13)的一端设有抵接头(21)，导电柱(20)上套设有弹簧(22)，弹簧(22)的两端分别与安装座(13)、抵接头(21)抵接，导电柱(20)与导线(15)导通。

4.根据权利要求3所述的载板偏压导入装置，其特征是：所述抵接头(21)为帽型。

5.一种平板连续PVD设备，其特征是：包括组合腔室(1)、位于组合腔室(1)内的源(2)、传输载板的传输装置(3)、以及权利要求1-4任一项所述的载板偏压导入装置(4)。

6.根据权利要求5所述的平板连续PVD设备，其特征是：所述组合腔室(1)包括依次排列的装载腔室(5)、工艺腔室(6)和卸载腔室(7)，所述源(2)位于工艺腔室(6)内。

7.根据权利要求6所述的平板连续PVD设备，其特征是：所述传输装置(3)包括接地传输辊(8)和隔离传输辊(9)，隔离传输辊(9)和组合腔室(1)之间绝缘，所述接地传输辊(8)和隔离传输辊(9)在组合腔室(1)内沿直线等间距排布，位于工艺腔室(6)内的均为隔离传输辊(9)，位于装载腔室(5)和卸载腔室(7)内靠近工艺腔室(6)一侧的为隔离传输辊(9)，位于装载腔室(5)和卸载腔室(7)内远离工艺腔室(6)一侧的为接地传输辊(8)。