[发明专利]一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置

说明书

本申请涉及PVD镀膜设备的领域，尤其是涉及一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置。载板偏压导入装置包括电源、连接机构以及引电机构，引电机构包括导线和装载开关、卸载开关，连接机构的数量设置为至少三个且依次排布，将连接机构按顺序依次编号，奇数序号的连接机构与电源正负极的其中一极导通，偶数序号的连接机构与电源的另一极导通，序号排前两位的连接机构中的至少一个连接的导线上设置有装载开关，序号排后两位的连接机构中的至少一个连接的导线上设置有卸载开关。在整个过程中电流的通断都是通过装载开关和卸载开关来进行的，而不是载板和连接机构接触、分离导致的通断电，可以避免瞬间电流过大导致载板和连接机构连接处损毁的情况。

技术领域

本申请涉及PVD镀膜设备的领域，尤其是涉及一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置。

背景技术

PVD镀膜设备是在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，在基体表面沉积具有特殊功能的薄膜。

最近的市场中，平板式PVD镀膜设备也出现了施加偏压的要求（偏压是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压）。常见的平板式PVD镀膜设备如图1所示，在长方形的连续多腔室系统中，载板通过传输装置实现在各个腔室之间的传输，传输过程中经过各种类型的源，完成既定膜层的成膜。如何在载板的运动过程中给载板施加偏压就成了需求解决的问题。

发明内容

为了解决载板运动过程中施加偏压的需求，本申请提供一种平板连续PVD设备及其载板偏压导入装置。

第一方面，本申请提供一种载板偏压导入装置，采用如下的技术方案：

一种载板偏压导入装置，包括电源、用于连接载板的连接机构，以及导通连接机构和电源的引电机构，引电机构包括导线和装载开关、卸载开关，所述连接机构的数量设置为至少三个且依次排布，将连接机构按顺序依次编号，奇数序号的连接机构通过导线与电源正负极的其中一极导通，偶数序号的连接机构通过导线与电源的另一极导通，序号排前两位的连接机构中的至少一个连接的导线上设置有装载开关，序号排后两位的连接机构中的至少一个连接的导线上设置有卸载开关，且装载开关和卸载开关不位于同一条导线上。

通过采用上述技术方案，当载板运动至与序号排前两位的连接机构连通的状态时，通过操作装载开关和卸载开关使得两个连接机构与电源的正负极导通，对载板和载板上的基体施加偏压。当载板运动至与序号排后两位的连接机构连通的状态时，通过断开卸载开关使得不再施加偏压。同时在整个过程中电流的通断都是通过装载开关和卸载开关来进行的，而不是载板和连接机构接触、分离导致的通断电，可以避免瞬间电流过大导致载板和连接机构连接处损毁的情况。

优选的，还包括用于检测载板位置的装载传感器和卸载传感器，装载传感器检测载板达到序号第二、第三的连接机构之间的位置时响应，装载传感器响应时装载开关闭合，装载传感器不响应时装载开关断开；卸载传感器检测载板到达序号倒数第二、第三的连接机构之间的位置时响应，卸载传感器响应时卸载开关闭合，卸载传感器不响应时，卸载开关断开。

通过采用上述技术方案，设置装载传感器和卸载传感器开控制装载开关和卸载开关的通断，使得不需要人工来控制装载开关和卸载开关，当载板运动至与序号排前两位的连接机构连通的状态并继续传输时装载开关就会导通。当载板运动至与序号排后两位的连接机构连通的状态并继续传输时，在未脱离这两个连接机构前卸载开关就会断开。

优选的，所述连接机构包括用于连接组合腔室的安装座和不与组合腔室导通的柔性电刷，柔性电刷与导线导通。

通过采用上述技术方案，通过柔性电刷使得载板传输至与连接机构配合的位置时可以与载板稳定导通。

优选的，所述连接机构包括用于连接组合腔室的安装座以及不与组合腔室导通的导电柱，所述导电柱与安装座滑动连接，且导电柱穿出安装座的一端设有抵接头，导电柱上套设有弹簧，弹簧的两端分别与安装座、抵接头抵接，导电柱与导线导通。