[发明专利]滑片检测装置和抛光系统在审
| 申请号： | 202110932998.9 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113579989A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 许涛 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;陈丽宁 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种滑片检测装置和抛光系统，用于检测抛光系统对硅片进行抛光的过程中是否发生滑片，包括：传感器组件，包括设置于抛光盘的至少一侧的第二光电传感器，和设置于抛光头上的第一光电传感器，所述第一光电传感器和所述第二光电传感器均用于在检测到滑片时发出信号；控制结构，用于根据所述第一光电传感器和/或所述第二光电传感器的信号，停止抛光。通过所述传感器组件的设置，不但在抛光头的一侧设置有第一光电传感器，在抛光盘的至少一侧设置第二光电传感器，第一光电传感器和第二光电传感器相配合，增大检测的区域，提高检测精度，避免漏检。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司，未经西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110932998.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种纸箱压线折叠装置
- 下一篇：一种可调式角码切割装置
