[发明专利]滑片检测装置和抛光系统

权利要求书

1.一种滑片检测装置，用于检测抛光系统对硅片进行抛光的过程中是否发生滑片，抛光系统包括抛光盘、设置于抛光盘上的抛光垫和抛光头，所述抛光盘与所述抛光头相对设置，其特征在于，所述滑片检测装置包括：

传感器组件，包括设置于抛光盘的至少一侧的第二光电传感器，和设置于抛光头上的第一光电传感器，所述第一光电传感器和所述第二光电传感器均用于在检测到滑片时发出信号；

控制结构，用于根据所述第一光电传感器和/或所述第二光电传感器的信号，停止抛光。

2.根据权利要求1所述的滑片检测装置，其特征在于，所述第一光电传感器包括激光发射器、光纤接收器和控制器，所述激光发射器用于沿第一方向朝向抛光垫发射激光，所述光纤接收器用于接收反射的激光并将其转化为电信号；所述控制器用于根据光纤接收器的电信号判定是否有硅片滑出；

所述第二光电传感器包括激光发射器、光纤接收器和控制器，所述激光发射器用于沿与所述第一方向平行且相反的第二方向发射激光，所述光纤接收器用于接收反射的激光并将其转化为电信号；所述控制器用于根据光纤接收器的电信号判定是否有硅片从所述抛光盘上掉落。

3.根据权利要求1所述的滑片检测装置，其特征在于，所述第二光电传感器设置于相邻两个抛光盘之间的中心处。

4.根据权利要求1所述的滑片检测装置，其特征在于，还包括温度传感器，所述温度传感器嵌设于抛光盘的抛光面上，用于在温度超过预设范围时发出信号，所述控制结构还用于根据所述温度传感器的信号，停止抛光。

5.根据权利要求1所述的滑片检测装置，其特征在于，抛光系统包括驱动抛光盘的第一电机以及驱动抛光头的第二电机，所述滑片检测装置还包括负载率检测结构，用于检测所述第一电机的负载率以及所述第二电机的负载率，并在第一电机和第二电机的负载率均超过预设范围时，发出信号，所述控制结构还用于根据所述检测结构发出的信号，停止抛光。

6.一种抛光系统，其特征在于，包括多个抛光盘，设置于抛光盘上的抛光垫，抛光头，用于驱动所述抛光盘旋转的第一电机和用于控制抛光头旋转的第二电机，所述抛光系统还包括权利要求1-5任一项所述的滑片检测装置。

7.根据权利要求6所述的抛光系统，其特征在于，包括第一抛光盘、第二抛光盘和第三抛光盘三个抛光盘，三个抛光盘呈三角形分布，且三个抛光盘的中心点的连线呈等边三角形；

所述抛光系统还包括硅片卸载台，所述硅片卸载台位于所述第二抛光盘远离所述第一抛光盘的一侧；

所述第一抛光盘和所述第二抛光盘之间设置有所述第二光电传感器，所述第一抛光盘和所述第三抛光盘之间设置有所述第二光电传感器，且所述第二抛光盘和所述硅片卸载台之间以及所述第三抛光盘和所述硅片卸载台之间均设置有第二光电传感器。

8.根据权利要求7所述的抛光系统，其特征在于，所述第一抛光盘和所述第二抛光盘之间的第二光电传感器位于所述第一抛光盘的中心点和所述第二抛光盘的中心点的连线上。

9.根据权利要求7所述的抛光系统，其特征在于，所述第一抛光盘和所述第三抛光盘之间的第二光电传感器位于所述第一抛光盘的中心点和所述第三抛光盘的中心点的连线上。

10.根据权利要求7所述的抛光系统，其特征在于，所述第二抛光盘和所述硅片卸载台之间的第二光电传感器与所述第一抛光盘和所述第三抛光盘之间的连线为第一连线，所述第三抛光盘和所述硅片卸载台之间的第二光电传感器与所述第一抛光盘和所述第二抛光盘之间的第二光电传感器之间的连线为第二连线，所述第一连线和所述第二连线相垂直。