[发明专利]SF6分解气体的混气系统及混气方法在审
申请号: | 202110930854.X | 申请日: | 2021-08-13 |
公开(公告)号: | CN113670702A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 王黎明;李腾飞;邓先钦;李悦 | 申请(专利权)人: | 国网上海市电力公司;上海恒能泰企业管理有限公司璞能电力科技工程分公司 |
主分类号: | G01N1/38 | 分类号: | G01N1/38;G01D21/02 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 蔡彭君 |
地址: | 200122 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种SF6分解气体的混气系统及混气方法,其中,混气系统包括包括第一气路、第二气路和混气箱,第一气路和第二气路中均设有质量流量控制器,且第一气路和第二气路的输出端均连接至混气箱的进气口,第一气路的输入端连接至装填有SF6气源的第一容器,第二气路的输入端连接至第二容器,第二气路共设有多个,且各第二气路输入端连接至不同的第二容器,混气箱包括本体、待测传感器、风扇、压力测量单元、加热单元和真空泵,混气箱的出气口连接至真空泵,待测传感器、压力测量单元、风扇和加热单元均置于本体内,本体上还设有航插,航插连接至待测传感器。与现有技术相比,本发明具有提高样品准确度等优点。 | ||
搜索关键词: | sf6 分解 气体 系统 方法 | ||
【主权项】:
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