[发明专利]SF6分解气体的混气系统及混气方法

权利要求书

1.一种SF6分解气体的混气系统，包括第一气路、第二气路和混气箱(13)，所述第一气路(1)和第二气路(7)中均设有质量流量控制器，且所述第一气路(1)和第二气路(7)的输出端均连接至混气箱(13)的进气口(15)，所述第一气路(1)的输入端连接至装填有SF6气源的第一容器(2)，所述第二气路(7)的输入端连接至第二容器(8)，其特征在于，所述第二气路共设有多个，且各第二气路输入端连接至不同的第二容器(8)，所述混气箱(13)包括本体(14)、待测传感器、风扇、压力测量单元、加热单元和真空泵(16)，所述混气箱(13)的出气口连接至真空泵(16)，所述待测传感器、压力测量单元、风扇和加热单元均置于本体(14)内，所述本体(14)上还设有航插(21)，所述航插(21)连接至待测传感器。

2.根据权利要求1所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述第一容器(2)的输出端设有第一减压阀(4)，所述第二容器(8)的输出端设有第二减压阀(10)。

3.根据权利要求1所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述混气系统还包括进气干管，所述第一气路和第二气路的输出端均连接至进气干管的输入端，所述进气干管的输出端均连接至混气箱(13)的进气口(15)，且所述进气干管上设有干管电磁阀。

4.根据权利要求3所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述第一气路上设有第一电磁阀(6)，所述第二气路(7)上设有第二电磁阀(12)。

5.根据权利要求4所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述第一电磁阀(6)和第二电磁阀(12)均位于对应气路的质量流量控制器的输出端一侧。

6.根据权利要求1所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述加热单元包括绝缘加热板(19)和检测温度的热电偶(20)。

7.根据权利要求1所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述压力测量单元为压力计(18)。

8.根据权利要求5所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述真空泵(16)和混气箱(13)的出气口之间设有出气阀门(22)。

9.根据权利要求1所述的一种SF6分解气体的混气系统，其特征在于，所述第二气路(7)均设有三个。

10.一种如权利要求8所述的混气系统的混气方法，其特征在于，包括：

步骤S1：关闭干管电磁阀，使用真空泵(16)将混气箱(13)抽真空后，关闭真空泵(16)与出气阀门(22)，静置30min，观察压力测量单元示数是否变化，如果没有变化，则执行步骤S2；

步骤S2：打开第一电磁阀(6)，使SF6气体填满整个混气箱(13)后，打开出气阀门(22)，通气一分钟后关闭第一电磁阀(6)和干管电磁阀，以及出气阀门(22)；

步骤S3：打开真空泵(16)和出气阀门(22)，将混气箱(13)内的SF6气体抽尽后，关闭真空泵(16)和出气阀门(22)；

步骤S4：打开风扇(17)和绝缘加热板(19)控制气体的温度，打开质量流量控制器，调节流速比，然后同时打开第一电磁阀(6)、干路电磁阀(22)和对应第二电磁阀(12)，此时气体由不同的流速流入混气箱(13)，混气箱(13)内压强上升，待回复到一个大气压时同时关闭第一电磁阀(6)、干路电磁阀(22)和对应第二电磁阀(12)。