[发明专利]SF6分解气体的混气系统及混气方法

说明书

本发明涉及一种SF6分解气体的混气系统及混气方法，其中，混气系统包括包括第一气路、第二气路和混气箱，第一气路和第二气路中均设有质量流量控制器，且第一气路和第二气路的输出端均连接至混气箱的进气口，第一气路的输入端连接至装填有SF6气源的第一容器，第二气路的输入端连接至第二容器，第二气路共设有多个，且各第二气路输入端连接至不同的第二容器，混气箱包括本体、待测传感器、风扇、压力测量单元、加热单元和真空泵，混气箱的出气口连接至真空泵，待测传感器、压力测量单元、风扇和加热单元均置于本体内，本体上还设有航插，航插连接至待测传感器。与现有技术相比，本发明具有提高样品准确度等优点。

技术领域

本发明涉及SF6分解气体合成领域，尤其是涉及一种SF6分解气体的混气系统及混气方法。

背景技术

在电气行业，需要对于SF6分解气体进行检测，此类传感器的标定需要用到标准SF6分解起的样品气体，现有技术中SF6分解气体混气操作复杂，且混合精度低，无法对多种气体进行简单准确地混气。

虽然一些现有技术，例如中国专利CN108119749A公开了一种SF6和N2混合气体充气装置及精确充气方法，其包括并联设置的SF6充气气路和N2充气气路、通过管路与SF6充气气路和N2充气气路连接的恒温加热器、通过管路与恒温加热器出气端连接的气体混合装置、通过管路与气体混合装置出气端连接的储气缓冲罐、通过管路与储气缓冲罐出气端连接的气体组分监测及反馈控制装置以及通过管路与气体组分监测及反馈控制装置连接的增压灌充装置。但是其存在以下缺陷：

1、只支持一种混合气，无法针对多种组分进行混合得到不同组分的分解气体。

2、无法直接用于测量，需要将气体转移后才可以用于测量，转移的过程会会带来更多的不可控性，导致样品的准确性降低。

发明内容

本发明的目的就是为了提供一种SF6分解气体的混气系统及混气方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种SF6分解气体的混气系统，包括第一气路、第二气路和混气箱，所述第一气路和第二气路中均设有质量流量控制器，且所述第一气路和第二气路的输出端均连接至混气箱的进气口，所述第一气路的输入端连接至装填有SF6气源的第一容器，所述第二气路的输入端连接至第二容器，所述第二气路共设有多个，且各第二气路输入端连接至不同的第二容器，所述混气箱包括本体、待测传感器、风扇、压力测量单元、加热单元和真空泵，所述混气箱的出气口连接至真空泵，所述待测传感器、压力测量单元、风扇和加热单元均置于本体内，所述本体上还设有航插，所述航插连接至待测传感器。

所述第一容器的输出端设有第一减压阀，所述第二容器的输出端设有第二减压阀。

所述混气系统还包括进气干管，所述第一气路和第二气路的输出端均连接至进气干管的输入端，所述进气干管的输出端均连接至混气箱的进气口，且所述进气干管上设有干管电磁阀。

所述第一气路上设有第一电磁阀，所述第二气路上设有第二电磁阀。

所述第一电磁阀和第二电磁阀均位于对应气路的质量流量控制器的输出端一侧。

所述加热单元包括绝缘加热板和检测温度的热电偶。

所述压力测量单元为压力计。

所述真空泵和混气箱的出气口之间设有出气阀门。

所述第二气路均设有三个。

一种如上述的混气系统的混气方法，包括：

步骤S1：关闭干管电磁阀，使用真空泵将混气箱抽真空后，关闭真空泵与出气阀门，静置30min，观察压力测量单元示数是否变化，如果没有变化，则执行步骤S2；