[发明专利]平行光学扫描检测装置在审
申请号: | 202110922823.X | 申请日: | 2021-08-12 |
公开(公告)号: | CN113702287A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 陳玟茹;張峰瑜;林怡亭 | 申请(专利权)人: | 芯圣科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/552;G02B26/08;G02B26/10;G02B27/09 |
代理公司: | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人: | 肖淑芳 |
地址: | 中国台湾新北市淡*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种平行光学扫描检测装置,包括光源单元、干涉单元、分光单元、光程调整单元、复数个扫瞄单元及接收单元,光源单元提供初始光源到干涉单元,干涉单元将初始光源分成参考光源及样品光源,分光单元系将样品光源分成多个样品光源,光程调整单元将多个样品光源调整成不同光程的扫瞄光源,各扫瞄单元分别接收其中一个扫瞄光源,并以各扫瞄光源对样品进行扫瞄,而使得各扫瞄单元分别接收从样品不同位置反射或散射的检测光源,接收单元接收参考光源及各检测光源,并将参考光源及各检测光源分别进行光同调效应,使得接收单元产生不同的光程差的同调效应的光学信息,各光学信息透过计算机处理与分析同步得到样品不同位置的光学同调断层扫瞄影像。 | ||
搜索关键词: | 平行 光学 扫描 检测 装置 | ||
【主权项】:
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