[发明专利]平行光学扫描检测装置在审

专利信息
申请号: 202110922823.X 申请日: 2021-08-12
公开(公告)号: CN113702287A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 陳玟茹;張峰瑜;林怡亭 申请(专利权)人: 芯圣科技股份有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/552;G02B26/08;G02B26/10;G02B27/09
代理公司: 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 代理人: 肖淑芳
地址: 中国台湾新北市淡*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 平行 光学 扫描 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种平行光学扫描检测装置,其特征在于,包括:

光源单元,用于提供初始光源;

干涉单元,用于连接光源单元,并接收所述初始光源,且该干涉单元将所述初始光源分成参考光源及样品光源;

分光单元,用于连接该干涉单元,并将所述样品光源分成多个样品光源;

光程调整单元,用于连接该分光单元,将各样品光源调整程不同光程的扫瞄光源;

复数个扫瞄单元,各该扫瞄单元连接该光程调整单元,并分别接收其中一个所述扫瞄光源,且以各所述扫瞄光源对一样品的不同位置进行扫瞄,再分别接收从该样品的不同位置反射的检测光源,所述检测光源再依序由所述光程调整单元、所述分光单元进入到所述干涉单元,以及

接收单元,系连接所述干涉单元,接收所述参考光源及各所述检测光源,并将所述参考光源及各所述检测光源分别进行光同调效应,使得所述接收单元产生不同的光程差的同调效应的光学信息。

2.如权利要求1所述的平行光学扫描检测装置,其特征在于,所述光源单元包括:

扫频式雷射光源,用于提供雷射光源;以及

光放大器,用于连接该扫频式雷射光源,该光放大器将该雷射光源放大至适合光学同调断层扫瞄的光强度的所述初始光源。

3.如权利要求1所述的平行光学扫描检测装置,其特征在于,所述光源单元尚包括光隔离器,所述光隔离器设在所述扫频式雷射光源产生器与所述光放大器之间。

4.如权利要求1所述的平行光学扫描检测装置,其特征在于,该干涉单元包括:

第一光纤耦合器,第一光纤耦合器的一端连接所述光源单元;

第一光纤循环器,该第一光纤循环器的第一端连接所述第一光纤耦合器的另端;

第一光纤极化控制器,第一光纤极化控制器的一端连接所述第一光纤循环器的第二端;

参考光源产生部,所述参考光源产生部连接第一光纤极化控制器的另端;

第二光纤循环器,该第二光纤循环器的第一端亦连接所述第一光纤耦合器的另端;

第二光纤极化控制器,第二光纤极化控制器的一端连接所述第二光纤循环器的第二端,第二光纤极化控制器的另端连接到分光单元;以及

第二光纤耦合器,第二光纤耦合器的一端连接第一光纤循环器的第三端及第二光纤循环器的第三端,第二光纤耦合器的另端连接到接收单元;

其中,所述初始光源经由所述第一光纤耦合器、所述第一光纤循环器的第一端、所述第一光纤循环器的第二端、所述第一光纤极化控制器进入到该参考光源产生部,而产生该参考光源,所述参考光源再依序经过所述第一光纤极化控制器、所述第一光纤循环器的第二端、第三端、所述第二光纤耦合器进入到所述接收单元;

且,所述初始光源经由所述第一光纤耦合器、所述第二光纤循环器的第一端、第二端及所述第二光纤极化控制器而作为所述样品光源。

5.如权利要求1所述的平行光学扫描检测装置,其特征在于,所述参考光源产生部包括:

参考光束准直器,所述参考光束准直器的一端连接所述第一光纤极化控制器的另端;

参考镜头,参考镜头的一端面对所述参考光束准直器的另端;及

参考反射镜,该参考反射镜系面对该参考镜头的另端;

其中,所述初始光源进入所述第二光速准直器及参考镜头到达所述参考反射镜,再被所述参考反射镜反射形成所述参考光源。

6.如权利要求1所述的平行光学扫描检测装置,其特征在于,所述干涉单元还包括第一移动单元,参考反射镜则设于所述第一移动单元,透过调整所述第一移动单元带动所述参考反射镜,改变所述初始光源于自由空间中的行程。

7.如权利要求1所述的平行光学扫描检测装置,其特征在于,所述分光单元包括复数第三光纤耦合器,各该第三光纤耦合器之间系以一对二的树状分歧连接在一起,其中的第一层的该第三光纤耦合器的一端连接到该干涉单元,而最末一层的所述第三光纤耦合器的另端连接到所述光程调整单元。

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