[发明专利]基于前向递归的小行程纳米运动台滞回特性建模方法有效

专利信息
申请号: 202110915227.9 申请日: 2021-08-10
公开(公告)号: CN113627016B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 刘杨;缪骞;陈震宇 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06N3/04;G06N3/08
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 代理人: 高媛
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 基于前向递归的小行程纳米运动台滞回特性建模方法,属于超精密运动控制技术领域。建模过程包括采样数据获取、模型构建,算法求解以及结果输出四部分,所述采样数据获取,方法如基于小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法中所述,获取在不同温度、不同位移条件下的电流—力的相关数据采集;模型构建部分包括基函数确定与模型的结构和参数确定;算法求解部分包括初始条件设置、RBF网络构建、RBF中心个数判定以及权值输出。本发明基于一个多输入单输出非线性系统的输入输出数据快速识别模型参数,在减小计算量的同时保证模型精度,并解决传统最小二乘类算法因矩阵病态导致的算法不稳定问题,进而通过逆模型补偿提高运动台的性能。
搜索关键词: 基于 递归 行程 纳米 运动 台滞回 特性 建模 方法
【主权项】:
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