[发明专利]一种单晶金刚石衬底中的缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202110914823.5 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113777354A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 彭燕;王希玮;徐现刚;胡小波 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 山东宏康知识产权代理有限公司 37322 | 代理人： | 孙银行 |
| 地址： | 250000 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种单晶金刚石衬底中的缺陷检测方法，通过等离子体刻蚀金刚石单晶(100)面，用检测设备对刻蚀后产生的刻蚀坑形貌进行观察，其中，由损伤带来的缺陷，经刻蚀会得到平底坑，而由晶片内部原有缺陷，经刻蚀会产生尖底坑，尖底坑会随刻蚀时间逐渐变大变深，一直存在于表面。因此，利用上述缺陷检测方法可以快速的区分金刚石衬底中两类缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 衬底 中的 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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