[发明专利]一种电子束对中装置及对中方法在审
| 申请号： | 202110901033.3 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113707513A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘骏;王刘成;孔文文;张伟;仇小军 | 申请（专利权）人： | 无锡日联科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/26 | 分类号： | H01J3/26 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 刘松 |
| 地址： | 214112 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束对中装置及对中方法，具体包括以下步骤：在真空状态下，产生电子束；对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；重复上述步骤，得到电子束对中参数，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化且对中装置结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 装置 方法 | ||
【主权项】：
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