[发明专利]一种电子束对中装置及对中方法

说明书

本发明提供了一种电子束对中装置及对中方法，具体包括以下步骤：在真空状态下，产生电子束；对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；重复上述步骤，得到电子束对中参数，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化且对中装置结构简单，操作方便。

技术领域

本发明涉及电子束对中技术领域，尤其涉及一种电子束对中装置及对中方法。

背景技术

电子束即为电子汇集成束，其具有高能量密度，电子束是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压(25-300KV)加速电场作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速)，经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。

近年来，电子束广泛应用于加工焊接、检测成像、生产X光和生物灭菌等领域，而通常这些设备包括电子源、聚焦透镜、靶或样品托等，由于机械加工误差的存在，而无法保证这些组件的同轴性，进而容易导致电子束偏离预定的目标区域，而为了解决电子束偏离预定目标区域的问题，通常需引入偏转器，但是引入偏转器导致电子束对中装置结构复杂，且调整起来费时费力。

发明内容

本发明公开的一种电子束对中装置及对中方法，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化。

为达到上述目的，本发明的技术方案具体是这样实现的：

本发明一方面公开一种电子束对中方法，包括以下步骤：

在真空状态下，产生电子束；

对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；

计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；

重复上述步骤，得到电子束对中参数。

进一步地，所述偏转电流在区间[-I,+I]内。

本发明另一方面公开一种电子束对中装置，包括电子枪、电子束管、检测管、偏转线圈、电流计和计算机，其中，电子枪用以发射高速电子流，形成电子束；电子束管用以提供电子束的运行通道；所述检测管设置在所述电子束管的内部，且所述检测管的中心开设有通孔，用以实时检测电子束的对中情况；偏转线圈用以调节电子束的方向；所述电流计与所述检测管电连接，用以显示经过所述检测管的电子束的电流值，并传输至计算机；计算机用以接收并处理所述电流计检测到的经过所述检测管的电子束的电流值并控制所述偏转线圈中的偏转电流。

进一步地，所述电子束管由无磁金属或合金制成。

进一步地，所述偏转线圈为两组，包括水平方向线圈组和垂直方向线圈组，所述水平方向线圈组用以实现对电子束平垂直方向上的调节，所述垂直方向线圈组用以实现对电子束水平方向上的调节。

进一步地，所述检测管为良导体，且所述检测管通过绝缘件焊接在所述电子束管内部。

进一步地，所述绝缘件由绝缘耐高温材料制成。

进一步地，所述检测管由耐高温导体和耐高温绝缘体钎焊而成。

有益技术效果：

1、本发明公开一种电子束对中方法，具体包括以下步骤：在真空状态下，产生电子束；对偏转线圈施加一定步长的偏转电流，并记录电流计的示数；计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；重复上述步骤，得到电子束对中参数，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化；