[发明专利]一种电子束对中装置及对中方法

权利要求书

1.一种电子束对中方法，其特征在于，包括以下步骤：

在真空状态下，产生电子束；

对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；

计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；

重复上述步骤，得到电子束对中参数。

2.根据权利要求1所述的一种电子束对中方法，其特征在于，所述偏转电流在区间[-I,+I]内。

3.一种电子束对中装置，其特征在于，包括：

电子枪，用以发射高速电子流，形成电子束；

电子束管，用以提供电子束的运行通道；

检测管，所述检测管设置在所述电子束管的内部，且所述检测管的中心开设有通孔，用以实时检测电子束的对中情况；

偏转线圈，用以调节电子束的方向；

电流计，所述电流计与所述检测管电连接，用以显示经过所述检测管的电子束的电流值，并传输至计算机；

计算机，用以接收并处理所述电流计检测到的经过所述检测管的电子束的电流值并控制所述偏转线圈中的偏转电流。

4.根据权利要求3所述的一种电子束对中装置，其特征在于，所述电子束管由无磁金属或合金制成。

5.根据权利要求3所述的一种电子束对中装置，其特征在于，所述偏转线圈为两组，包括水平方向线圈组和垂直方向线圈组，所述水平方向线圈组用以实现对电子束垂直方向上的调节，所述垂直方向线圈组用以实现对电子束水平方向上的调节。

6.根据权利要求3所述的一种电子束对中装置，其特征在于，所述检测管为良导体，且所述检测管通过绝缘件焊接在所述电子束管内部。

7.根据权利要求6所述的一种电子束对中装置，其特征在于，所述绝缘件由绝缘耐高温材料制成。

8.根据权利要求3所述的一种电子束对中装置，其特征在于，所述检测管由耐高温导体和耐高温绝缘体钎焊而成。