[发明专利]一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法在审
| 申请号： | 202110900947.8 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113701999A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 孔文文;王刘成;张伟;仇小军;侯颀 | 申请（专利权）人： | 无锡日联科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 刘松 |
| 地址： | 214112 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法，包括以下步骤：对基体进行预处理，使表面洁净；在洁净的基体上生长一层重金属层；在重金属层上甩涂一层光刻胶，并烘烤固形；设计分辨率测试卡图案，并转换成激光直写设备可识别的代码；将基体放置于曝光平台，使除所需图案以外区域的光刻胶曝光；将曝光后的基体置于显影液中浸泡，待分辨率测试卡图像显现后，清洗并烘干；去除掉没有光刻胶保护区域的薄膜，结束后将基体清洗洁净；在刻蚀后的基体表面生长一层保护层，制备完成分辨率测试卡芯片；将分辨率测试卡芯片固定在中心开孔的铝板上，并在其表面做一层保护膜；大大提高了微焦点射线源空间分辨率的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 焦点 射线 分辨率 测试 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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