[发明专利]一种氧化锡基复合导电薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110894681.0 申请日: 2021-08-05
公开(公告)号: CN113628808A 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 唐少春;陆洪彬;张春玲;毛忠伟 申请(专利权)人: 海安南京大学高新技术研究院;江苏奥蓝工程玻璃有限公司
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01B1/08;H01B5/14;H01L31/0224;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种氧化锡基复合导电薄膜的制备方法。该复合导电薄膜的制备方法包括以下步骤:S1:以钛酸丁酯为钛源,无水乙醇为溶剂,乙酰丙酮为稳定剂,硝酸为抑制剂,按一定比例混合,得到TiO2:Sn前驱液;S2:以MBTC为锡源,SnF2为氟源,NbCl5为铌源,盐酸、甲醇为溶剂,按一定方法,得到NFTO前驱液;S3:将TiO2:Sn前驱液喷涂在加热好的玻璃基板上沉积成膜,将沉积好的TiO2:Sn薄膜分别在一定温度和时间热处理后,得到TiO2:Sn薄膜;S4:将NFTO前驱液喷涂在S3得到的石英玻璃基板上加热后沉积,保温一段时间后取出,自然冷却到室温,从而获得氧化锡基复合导电薄膜。本发明通过化学气相沉积法喷涂多层薄膜,最后获得透光性好,导电率高的复合导电薄膜,其制备方法方便,成本低。
搜索关键词: 一种 氧化 复合 导电 薄膜 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于海安南京大学高新技术研究院;江苏奥蓝工程玻璃有限公司,未经海安南京大学高新技术研究院;江苏奥蓝工程玻璃有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110894681.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top