[发明专利]一种氧化锡基复合导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种氧化锡基复合导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1 TiO₂: Sn前驱液的配置：以钛酸丁酯为钛源，无水乙醇为溶剂，乙酰丙酮为稳定剂，硝酸为抑制剂；将钛酸丁酯加入到40-60ml的无水乙醇中，通过磁力搅拌，转速400-600r/min，制备成A液；再分别将乙酰丙酮和浓硝酸按比例混合加入到A液中，混合成B液；将 MBTC按Sn/Ti比例为 0-15at.%溶解到10-30ml的无水乙醇中，再加入到B液中，磁力搅拌2小时以上，陈化12-24小时备用；

S2 NFTO前驱液的配置：以MBTC为锡源，SnF₂为氟源，NbCl₅为铌源，甲醇为溶剂，将10-20g的MBTC 与4-10ml浓盐酸混合，置于50 -100ml甲醇溶液中磁力搅拌5-10min，制成C液；以F/Sn为 20-30at.%将SnF₂溶于去5-15ml离子水中，制成D液；以 Nb/Sn为1-5at.%将NbCl₅溶于30-40ml甲醇中，制成E液；将D液和E液分别加入到C液中，磁力搅拌2-4h配置成NFTO前驱液，将NFTO前驱液陈化18-24 h备用；

S3 TiO₂:Sn薄膜的制备及热处理：将石英玻璃片分别于丙酮、去离子水和无水乙醇中超声清洗3 min，然后置于鼓风干燥箱中烘干备用；

将干燥好的石英玻璃片置于管式炉中加热到 500-600℃保温 6 min，然后将 S1得到的TiO₂: Sn 前驱液喷涂在加热好的玻璃基板上沉积成膜，将沉积好的 TiO₂:Sn薄膜在500-700℃的温度下热处理 2 h；

S4 氧化锡基复合薄膜的制备：将S2得到的NFTO前驱液喷涂S3得到的石英玻璃基板上加热后沉积，保温 1 -4min 后取出，自然冷却到室温，获得氧化锡基复合导电薄膜。

2.如权利要求1所述的氧化锡基复合导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中的钛酸丁酯质量溶度为2-4%。

3.据权利要求1所述的氧化锡基复合导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述S1中的乙酰丙酮和浓硝酸的用量比为2:1。

4.根据权利要求1所述的氧化锡基复合导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述S2中的MBTC与浓盐酸的用量比为2:1。

5.根据权利要求1所述的氧化锡基复合导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤S4中加热温度为在500-600℃。