[发明专利]表面处理组合物、表面处理组合物的制造方法、表面处理方法和半导体基板的制造方法在审
| 申请号： | 202110890625.X | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN114250124A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 吉野努;石黑创之介 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C11D7/34;C11D7/36;C11D7/26;C11D7/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及表面处理组合物、表面处理组合物的制造方法、表面处理方法和半导体基板的制造方法。[课题]提供可以充分去除存在于研磨完的研磨对象物的表面的有机物残渣的方案。[解决方案]一种表面处理组合物，其为用于对研磨完的研磨对象物的表面进行处理的表面处理组合物，其含有：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物、螯合剂和水，下述式(1)中，R |
||
| 搜索关键词： | 表面 处理 组合 制造 方法 半导体 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福吉米株式会社，未经福吉米株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110890625.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车身
- 下一篇：系统空调的热交换机自动洗涤以及杀菌系统及其模块
