[发明专利]清洗装置和清洗方法有效
| 申请号： | 202110881455.9 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113578858B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 牛景豪;曹岩 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B9/027;B08B9/032 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种清洗装置，包括具有进料口和出料口的箱体结构，以及位于箱体结构内部的第一超声清洗单元、第二超声清洗单元、离子溅射单元，箱体结构内还设置有用于控制从进料口进入的待清洗件的运动状态的移动结构；第一超声清洗单元包括用于容纳超纯水的第一容纳槽，第一超声波发生结构和第一喷淋结构；第二超声清洗单元包括用于容纳酸性清洗液的第二容纳槽，第二超声波发生结构、鼓泡结构和第二喷淋结构；离子溅射单元包括第三容纳槽，惰性气体提供结构和电压提供结构，电压提供结构用于提供负电压，使得第三容纳槽内的惰性气体产生离子或原子，以对待清洗件进行离子轰击溅射。本发明还提供一种清洗方法。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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