[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材制造装置有效
| 申请号： | 202110877994.5 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113322435B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王雷;常代展;谭明强 | 申请（专利权）人： | 江苏拓创新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南通苏专博欣知识产权代理事务所(普通合伙) 32574 | 代理人： | 施荣华 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，涉及旋转靶材制造技术领域。该一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，包括支撑盘、防护罩，所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧；所述支撑盘包括转动盘，所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴，所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体，所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板，所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚。通过设置有L型夹紧脚结构，当旋转靶材套设在转轴上，底部压动防护台的时候，防护台受压下移，使L型夹紧脚的外侧的一只脚下压，另一只脚向外侧移动，顶在旋转靶材的内侧壁，实现固定的目的，使用非常的方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 氧化锆 旋转 制造 装置 | ||
【主权项】：
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