[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材制造装置有效
申请号: | 202110877994.5 | 申请日: | 2021-08-02 |
公开(公告)号: | CN113322435B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 王雷;常代展;谭明强 | 申请(专利权)人: | 江苏拓创新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/08 |
代理公司: | 南通苏专博欣知识产权代理事务所(普通合伙) 32574 | 代理人: | 施荣华 |
地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导电 氧化锆 旋转 制造 装置 | ||
本发明提供一种导电氧化锆旋转靶材制造装置,涉及旋转靶材制造技术领域。该一种导电氧化锆旋转靶材制造装置,包括支撑盘、防护罩,所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧;所述支撑盘包括转动盘,所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴,所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体,所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板,所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚。通过设置有L型夹紧脚结构,当旋转靶材套设在转轴上,底部压动防护台的时候,防护台受压下移,使L型夹紧脚的外侧的一只脚下压,另一只脚向外侧移动,顶在旋转靶材的内侧壁,实现固定的目的,使用非常的方便。
技术领域
本发明涉及旋转靶材制造技术领域,具体为一种导电氧化锆旋转靶材制造装置。
背景技术
溅射镀膜工艺广泛应用于集成电路、磁记录、刀具、平面显示器以及玻璃表面涂层等领域,旋转靶材为溅射镀膜工艺中的重要组成部分。
旋转靶材通常为管体或者环状结构,两端部设置收缩的内径,在旋转靶材制造的时候,需要对靶材基管进行冷喷。
现有的导电氧化锆旋转靶材制造装置结构复杂,只适合大批量生产的时候使用,如果对使用过的单个旋转靶材进行喷涂修复,不方便进行再加工,而且送到原厂加工也不够经济。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材制造装置,解决了现有的导电氧化锆旋转靶材制造装置结构复杂,只适合大批量生产的时候使用的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种导电氧化锆旋转靶材制造装置,包括支撑盘、防护罩,所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧;
所述支撑盘包括转动盘,所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴,所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体,所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板,所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚,所述环体的侧面开设有锥孔,所述L型夹紧脚的一端穿过锥孔向外侧深处,所述L型夹紧脚的另一端斜向上方向延伸,且斜向转轴的方向,所述支撑盘的上方设置有防护台,所述防护台的底部由L型夹紧脚的端部支撑,所述防护台的中部设置有中心孔,所述中心孔的侧面设置有缺口。
优选的,所述L型夹紧脚的数量设置有多个,多个所述L型夹紧脚环形阵列排布。
优选的,所述支撑盘还包括固定底盘,所述固定底盘的顶部中心位置固定连接有固定座,所述固定座的顶部活动连接有转动轴,所述转动轴的侧面固定连接有大齿轮,所述固定底盘的顶部且位于固定座的一侧固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有小齿轮,所述小齿轮与大齿轮啮合传动,所述转动盘的底部与转动轴的顶端固定连接。
优选的,所述固定底盘的顶部且靠近其侧边固定连接有环罩,所述环罩的顶部设置有耐摩擦垫片。
优选的,所述防护罩包括环座,所述环座的顶部固定连接有罩体,所述罩体的一侧面设置有开口,所述开口的内侧滑动连接有滑动框,所述滑动框的顶部与开口的顶部之间、滑动框的底部与开口的底部之间均固定设置有柔性挡帘。
优选的,所述环座的底部固定连接有法兰盘,所述法兰盘的底部设置有耐磨层。
优选的,所述罩体的侧面开设有废料收集口,所述废料收集口的内部可拆卸连接有废料收集框,所述废料收集框与滑动框的位置相对。
优选的,所述滑动框的中部设置有矩形通口。
优选的,所述废料收集框的顶部设置有开口,所述废料收集框的外侧面固定连接有把手,所述废料收集框的内侧面设置有前沿斜口。
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