[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材制造装置

权利要求书

1.一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：包括支撑盘（1）、防护罩（2），所述防护罩（2）可拆卸设置在支撑盘（1）的外侧；

所述支撑盘（1）包括转动盘（14），所述转动盘（14）的顶部中心位置固定连接有转轴（19），所述转动盘（14）的顶部且位于转轴（19）的外侧固定连接有环体（110），所述支撑盘（1）的顶部且靠近环体（110）的内侧壁固定连接有连接耳板（111），所述连接耳板（111）的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚（112），所述环体（110）的侧面开设有锥孔（113），所述L型夹紧脚（112）的一端穿过锥孔（113）向外侧深处，所述L型夹紧脚（112）的另一端斜向上方向延伸，且斜向转轴（19）的方向，所述支撑盘（1）的上方设置有防护台（114），所述防护台（114）的底部由L型夹紧脚（112）的端部支撑，所述防护台（114）的中部设置有中心孔，所述中心孔的侧面设置有缺口（115）。

2.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述L型夹紧脚（112）的数量设置有多个，多个所述L型夹紧脚（112）环形阵列排布。

3.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述支撑盘（1）还包括固定底盘（11），所述固定底盘（11）的顶部中心位置固定连接有固定座（12），所述固定座（12）的顶部活动连接有转动轴（13），所述转动轴（13）的侧面固定连接有大齿轮（17），所述固定底盘（11）的顶部且位于固定座（12）的一侧固定连接有电机（15），所述电机（15）的输出端固定连接有小齿轮（16），所述小齿轮（16）与大齿轮（17）啮合传动，所述转动盘（14）的底部与转动轴（13）的顶端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述固定底盘（11）的顶部且靠近其侧边固定连接有环罩（18），所述环罩（18）的顶部设置有耐摩擦垫片。

5.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于，所述防护罩（2）包括环座（21），所述环座（21）的顶部固定连接有罩体（23），所述罩体（23）的一侧面设置有开口，所述开口的内侧滑动连接有滑动框（24），所述滑动框（24）的顶部与开口的顶部之间、滑动框（24）的底部与开口的底部之间均固定设置有柔性挡帘（25）。

6.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述环座（21）的底部固定连接有法兰盘（22），所述法兰盘（22）的底部设置有耐磨层。

7.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述罩体（23）的侧面开设有废料收集口（26），所述废料收集口（26）的内部可拆卸连接有废料收集框（27），所述废料收集框（27）与滑动框（24）的位置相对。

8.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述滑动框（24）的中部设置有矩形通口。

9.根据权利要求7所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在

于：所述废料收集框（27）的顶部设置有开口，所述废料收集框（27）的外侧面固定连接有把手，所述废料收集框（27）的内侧面设置有前沿斜口。