[发明专利]一种微振动感测模块及微振动检测传感器件

摘要

本发明公开了一种微振动感测模块及微振动检测传感器件，包括振动基底和传感膜，振动基底为轴套，轴套包括位于其轴向不同位置的上轴套段和下轴套段，上轴套段设有沿其周向均布设置的多个开口结构，每个开口结构包括第一分割口和第二分割口。本发明中，第二分割口在感知微小机械力或振动信号的时候，起到类似于杠杆的作用，因此能够将机械量信号集中在第二分割口的尾部(第二敞开端)，使得第二分割口的位置会产生响应的变形，从而导致传感膜在第二分割口的尾部出现明显的来回往复的“呼吸作用”，位于第二分割口尾部位置的传感膜产生电阻变化，实现微弱振动信号的高精度检测。