[发明专利]一种微振动感测模块及微振动检测传感器件

权利要求书

1.一种微振动感测模块，包括振动基底和传感膜，所述传感膜包括柔性基底、导电层以及两个电极，所述柔性基底的两端固定于所述振动基底上，所述导电层带有微裂纹并设于所述柔性基底的表面上，所述两个电极设于所述导电层上并分别靠近所述柔性基底的两端位置，

其特征在于，所述振动基底为轴套，所述轴套包括位于其轴向不同位置的上轴套段和下轴套段，所述上轴套段设有沿其周向均布设置的多个开口结构，每个所述开口结构包括第一分割口和第二分割口，所述第一分割口的长度方向与所述上轴套段的轴向平行，所述第一分割口沿其长度方向的两端分别为第一封闭端和贯通所述上轴套段的环形自由端面的第一敞开端，所述第一分割口沿其深度方向分别贯通所述上轴套段的内侧面和外侧面，所述第二分割口的长度方向与所述上轴套段的圆周方向同轴，所述第二分割口沿其长度方向的两端分别为第二封闭端和贯通所述第一分割口侧壁的第二敞开端，所述第二分割口沿其深度方向分别贯通所述上轴套段的内侧面和外侧面，所述传感膜的两端分别固定于所述第二分割口沿其宽度方向的两侧。

2.根据权利要求1所述的微振动感测模块，其特征在于，所述第一分割口的长度为所述轴套轴向长度的2/3。

3.根据权利要求1所述的微振动感测模块，其特征在于，所述第二分割口的宽度为1-2mm，所述第二分割口的长度为所述上轴套段周长的1/3。

4.根据权利要求1所述的微振动感测模块，其特征在于，所述上轴套段设有两个所述开口结构。

5.根据权利要求1所述的微振动感测模块，其特征在于，所述第一分割口将所述上轴套段分割为多个弧形板区，所述多个述弧形板区的扇形端面相对所述轴套的中心轴线中心对称，每个所述弧形板区的扇环形端面包括位于其弧长方向不同位置的扇环形平面和螺旋形下坡面，所述扇环形平面靠近所述第二敞开端位置，所述螺旋形下坡面靠近所述第二封闭端位置。

6.根据权利要求1所述的微振动感测模块，其特征在于，所述第一封闭端和所述第二封闭端均为圆弧面。

7.根据权利要求1所述的微振动感测模块，其特征在于，所述传感膜还包括用于将所述导电层和所述电极封装起来的封装层。

8.一种微振动检测传感器件，包括基座、外盖、第一螺柱、第一绝缘套、如权利要求1至7任一所述的微振动感测模块、质量块以及压块，所述基座包括安装于被测目标上，所述外盖连接于所述基座的上部并形成一安装腔，所述第一螺柱竖直连接于所述基座的上部并位于所述安装腔内，所述下轴套段套设固定于所述第一螺柱上，所述质量块套设于所述第一螺柱上并压在所述上轴套段的环形自由端面上，所述压块固定连接于所述第一螺柱上并位于所述质量块的上方；

所述基座将被测目标的振动力向上传递至所述振动基底，所述质量块将自身重量向下传递至所述振动基底，所述振动基底进行往复振动，所述振动基底的往复振动并使得所述第二分割口宽度尺寸变化，所述第二分割口宽度尺寸变化使得所述柔性基底变形，所述柔性基底变形使得所述导电层的裂纹变化和电阻变化，所述两个电极用于传输信号。

9.根据权利要求8所述的微振动检测传感器件，其特征在于，还包括第二螺柱和第二绝缘套，所述第二螺柱连接于所述基座的侧部并位于所述安装腔之外，所述基座设有导线通道A，所述第二螺柱设有导线通道B，所述导线通道A的一端贯通所述基座的上部，所述导线通道B一端贯通所述第二螺柱的自由端面，所述导线通道A的另一端连通所述导线通道B的另一端，所述第二绝缘套设于所述导线通道B中，所述第二绝缘套内设有导线输出端子，所述导线输出端子与所述电极通过穿设于所述导线通道A和所述导线通道B中的导线连接在一起。

10.根据权利要求8所述的微振动检测传感器件，其特征在于，还包括第三螺柱，所述第三螺柱竖直连接于所述基座的下部。