[发明专利]一种微振动感测模块及微振动检测传感器件

说明书

本发明公开了一种微振动感测模块及微振动检测传感器件，包括振动基底和传感膜，振动基底为轴套，轴套包括位于其轴向不同位置的上轴套段和下轴套段，上轴套段设有沿其周向均布设置的多个开口结构，每个开口结构包括第一分割口和第二分割口。本发明中，第二分割口在感知微小机械力或振动信号的时候，起到类似于杠杆的作用，因此能够将机械量信号集中在第二分割口的尾部(第二敞开端)，使得第二分割口的位置会产生响应的变形，从而导致传感膜在第二分割口的尾部出现明显的来回往复的“呼吸作用”，位于第二分割口尾部位置的传感膜产生电阻变化，实现微弱振动信号的高精度检测。

技术领域

本发明属于微型传感器技术领域，具体涉及一种微振动感测模块及微振动检测传感器件。

背景技术

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

传统的大尺寸和单一功能的传感器往往很难满足现在高精密检测、微纳操、人机交互、航空、遥感、医疗等方面的高性能需求，因此它们已逐渐被各种不同类型的高性能微振动传感器所取代。针对振动传感器的研发也朝着微纳尺度逐步发展，现在传感器的尺寸越来越小，功能越来越强大。而对集成振动信号高精度检测功能的微型结构的简明化设计与经济化制备是实现微振动传感器推向市场应用的关键，现有的设计原理和制备方法有待进一步发展。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于如何实现微小振动信号的高精度检测。

为解决上述技术问题，本发明提供了1.一种微振动感测模块，包括振动基底和传感膜，所述传感膜包括柔性基底、导电层以及两个电极，所述柔性基底的两端固定于所述振动基底上，所述导电层带有微裂纹并设于所述柔性基底的表面上，所述两个电极设于所述导电层上并分别靠近所述柔性基底的两端位置，

所述振动基底为轴套，所述轴套包括位于其轴向不同位置的上轴套段和下轴套段，所述上轴套段设有沿其周向均布设置的多个开口结构，每个所述开口结构包括第一分割口和第二分割口，所述第一分割口的长度方向与所述上轴套段的轴向平行，所述第一分割口沿其长度方向的两端分别为第一封闭端和贯通所述上轴套段的环形自由端面的第一敞开端，所述第一分割口沿其深度方向分别贯通所述上轴套段的内侧面和外侧面，所述第二分割口的长度方向与所述上轴套段的圆周方向同轴，所述第二分割口沿其长度方向的两端分别为第二封闭端和贯通所述第一分割口侧壁的第二敞开端，所述第二分割口沿其深度方向分别贯通所述上轴套段的内侧面和外侧面，所述传感膜的两端分别固定于所述第二分割口沿其宽度方向的两侧。

优选的，所述第一分割口的长度为所述轴套轴向长度的2/3。

优选的，所述第二分割口的宽度为1-2mm，所述第二分割口的长度为所述上轴套段周长的1/3。

优选的，所述上轴套段设有两个所述开口结构。

优选的，所述第一分割口将所述上轴套段分割为多个弧形板区，所述多个述弧形板区的扇形端面相对所述轴套的中心轴线中心对称，每个所述弧形板区的扇环形端面包括位于其弧长方向不同位置的扇环形平面和螺旋形下坡面，所述扇环形平面靠近所述第二敞开端位置，所述螺旋形下坡面靠近所述第二封闭端位置。

优选的，所述第一封闭端和所述第二封闭端均为圆弧面。

优选的，所述传感膜还包括用于将所述导电层和所述电极封装起来的封装层。

本发明还提供另外一个技术方案：一种微振动检测传感器件，包括基座、外盖、第一螺柱、第一绝缘套、所述的微振动感测模块、质量块以及压块，所述基座包括安装于被测目标上，所述外盖连接于所述基座的上部并形成一安装腔，所述第一螺柱竖直连接于所述基座的上部并位于所述安装腔内，所述下轴套段套设固定于所述第一螺柱上，所述质量块套设于所述第一螺柱上并压在所述上轴套段的环形自由端面上，所述压块固定连接于所述第一螺柱上并位于所述质量块的上方；