[发明专利]一种锰锌铁氧体薄膜制备方法有效
| 申请号： | 202110842330.5 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113584447B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 赵宇飞;唐少春;吴阳 | 申请（专利权）人： | 海安南京大学高新技术研究院;南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种锰锌铁氧体薄膜制备方法，所得锰锌铁氧体薄膜具有尺寸小、可加工、饱和磁化强度高，矫顽力低的优点。主要步骤为：以单晶硅片为衬底，加热后，依次以Fe |
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| 搜索关键词： | 一种 铁氧体 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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